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高功率激光材料測試儀用于高功率激光器和極深紫外EUV源的光學部件性能綜合測量，且性能和參數(shù)測量基于ISO國際標準。

光熱弱吸收測量儀、弱吸收測量儀，強激光材料性能測試儀，高功率激光薄膜光熱弱吸收測量儀，光學薄膜微弱吸收測量儀，光學材料光熱效應測量儀

波前曲率傳感器/壓電驅(qū)動微動平臺，裝配CCD相機，光束方向快速移動，臨近位置光束剖面/形貌分析，波前推導CCD像素級分辨，光束傳播參數(shù)分析（M2、瑞利長度、束腰直徑），Zernike分析畸變控制，采用自我參考法，無光束相干要求，緊湊式設計，在線檢測。

Hartmann波前傳感器（相干和非相干輻射），緊湊結(jié)構(gòu)，可以實現(xiàn)光化性能檢測，包括EUVL等離子源、自由電子激光、HHG高次諧波束，實時光學調(diào)整。

Hartmann-Shack波前傳感器/波前分析儀是專用于激光束性能的綜合表征，對激光輻射傳播行為預測以及光束質(zhì)量因子M²的確定，從同時記錄強度和相位分布光束質(zhì)量可以通過菲涅耳-基爾霍夫積分計算沿光束路徑的任何位置，特別是焦平面。