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kSA SpectR 光譜反射率測試儀

描述:這是一種用于測量光譜絕對反射率,L*a*b*成色值和生長速率的非接觸式測量設(shè)備。kSA SpectR 光譜反射率測試設(shè)備具有多種在線監(jiān)控和過程控制的應(yīng)用功能,包括垂直腔表面發(fā)射激光器(VCSEL),分布式布拉格反射器(DBR)和其他一些復(fù)雜的設(shè)備結(jié)構(gòu)。該設(shè)備主要應(yīng)用于監(jiān)控測量sputtering,MBE和MOCVD等薄膜生產(chǎn)研究。

更新時間:2024-07-04
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廠商性質(zhì):代理商
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品牌其他品牌產(chǎn)地類別進口
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子

kSA SpectR 光譜反射率測試設(shè)備是一種用于測量光譜絕對反射率,L*a*b*成色值和生長速率的非接觸式測量設(shè)備。該工具具有多種在線監(jiān)控和過程控制的應(yīng)用功能,包括垂直腔表面發(fā)射激光器(VCSEL),分布式布拉格反射器(DBR)和其他一些復(fù)雜的設(shè)備結(jié)構(gòu)。該設(shè)備主要應(yīng)用于監(jiān)控測量sputtering,MBE和MOCVD等薄膜生產(chǎn)研究。


kSA SpectR 光譜反射率測試設(shè)備的光學鏡組被配置為鏡面反射的幾何形狀。在這種測量原理中,薄膜每生長出一個新layer,程序就會自動擬合,將已有的所有基底和薄膜layer視為一個新的虛擬基底。kSA SpectR可以同時以多個波長進行測量,每個波長都具有潛在的特性。此設(shè)備可在選定的波長范圍內(nèi)測量自定義光譜特征,如反射率的最小值、最大值、拐點或基線散射水平。


測量實例

850 nm DBR的光譜反射率

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在GaAs襯底上生長250nm的AlAs和500nm的GaAs時,532和940nm下的反射率及其擬合曲線

kSA SpectR 光譜反射率測試儀


AlAs生長期間的生長速率,光學常數(shù)和反射率實時擬合曲線

kSA SpectR 光譜反射率測試儀

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AlAs和GaAs生長的未經(jīng)校正的高溫計測量結(jié)果和經(jīng)過校正的ECP溫度

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GaAs薄膜生長過程中單個反射率振蕩周期圖

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